Auger-eläktroone-späktroskopii

Täkst aw mooringer frasch


Auger-eläktroone-späktroskopii (AES) as en analysemetoode foon ouerflächen ma heelp foon Auger-eläktroone.

Schemååtische deerstaling foon dåt Auger-efäkt
Auger späktrum foon koower nitriide lååge önj oufliided form

Wan huum önj vakuum en materjoolproobe bestroolt ma (primääre) eläktrone ma en energii foon süwat 1 bit 10 keV, dan sånt dåt materjool seelew wider eläktroone üt. Da sekundääre eläktroone heewe åle grutelse foon energii, ouers deertwasche fåle hu scharpe spase ap, da sünååmde Auger-eläktroone. Da Auger-eläktroone heewe en energii, jü bestimd wårt foon da elemänte önj dåt materjool foon jü proobe.

Ruchts as dåt efäkt skitsiird for en moleküül ma twäär boone. Suke boone heewe en for ark elemänt karakteristische energii. Wan nü dåt moleküül foon en primääreläktron drååwed wårt, dan koon iinj foon da biise banere eläktroone (rüüdj) en huuger enärgii füünj än deerdöör önj en huugere boon broocht wårde. Eefter en bestimd tid fålt dåt dan önj sin üülje boon tubääg (önjjääwen ma en piil än en lääsi ween stää), weerbai dan en enärgii fri wårt jüst lik an dåt ferschääl in enärgii foon da biise boone. Jü enärgii wårt dan madiild (piil ma woog) an wi en ouder eläktron, wat dan as Auger-eläktron ütsånd wårt än uk en lääsi stää ääder leet.

Auger-dooten wårde gewöönlik jääwen as späktra önj oufliided form. Dåt as ruchts jääwen for koower nitriide. Dåt jeeft en klåår spase for stikstuf (N) aw 400 eV. Koower heet foole mör eläktroone önj foole mör boone än jeeft ålsü foole mör spasse, nämlik bai 920eV (ma tou latjere) än bai 70 eV.

Auger-eläktroone üt diipere lååge ferliise jare karakteristische enärgii döör stiitjen iinj huuger ladene atoome. Da analysiirbore eläktroone ståme deerfor üt da boowereste 0,5 bit 3 nanomeeter, ålsü 2 bit 10 atoomlååge. Deeram as AES forålem en ouerfläche-tächniik. Döör sputer-ätsen önj vakuum koone ouers lååge wächhååld wårde, sü dåt huum diiper mätje koon. Sü koone gånse diipde-profiile behülen wårde.

Wan önjwånd önj en raster-eläktroonemikroskoop, koone uk bile (kartiiringe) foon jü spriidjing foon bestimde elemänte ouer en proobe mååged wårde. Bai 10 keV primäärenärgii än en latj struum as di strool sü fain, dåt huum deerbai en apliising foon 0,3 /um füünj koon. Jü grutste gefäilihäid foon 0,1 bit 1 atoom prosänt fäit huum bai grutere struume än e gehalt an en bestimd elemänt koon önj en präsisjoonsfaktor tou bestimd wårde. Deerma as AES foole bääder tu trouen as sekundäär-ioone-massen-späktroskopii (SIMS), ouers as deeriinj foole maner gefäili.